IRIS

Optical Detection of the Coriolis Force on a Silicon Micromachined Gyro

ANNOVAZZI LODI, VALERIO;MERLO, SABINA GIOVANNA;NORGIA, MICHELE;
2006-01-01
2006
The Electrical and Electronics Engineering category covers resources concerned with applications of electricity, generally those involving current flow through conductors, as in motors and generators. This category also covers the examination of the conduction of electricity through gases or a vacuum as well as through semiconducting materials. Topics include image and signal processing, electromagnetics, electronic components and materials, microwave technology, and microelectronics.
ST JOURNAL
Nessuno
Inglese
Internazionale
STAMPA
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Articolo gia' apparso su Journal of Microelectromechanical systems nel 2003 con lo stesso titolo, ripubblicato con il permesso dell'editore (IEEE) su richiesta di ST-Microelectronics
MEMS; Micromachining; Optical Measurements
6
info:eu-repo/semantics/article
262
ANNOVAZZI LODI, Valerio; Merlo, SABINA GIOVANNA; Norgia, Michele; Spinola, G; Vigna, B; Zerbini, S.
1 Contributo su Rivista::1.1 Articolo in rivista
none
1.1 Articolo in rivista
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