Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars / Shi J.; Belotti Michele; Peroz C.; Peyrade D.; Salari J.; Huang Wh.; Chen Y.. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - STAMPA. - 83(2006), pp. 1664-1668.
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Titolo: | Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 2006 | |
Rivista: | ||
Citazione: | Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars / Shi J.; Belotti Michele; Peroz C.; Peyrade D.; Salari J.; Huang Wh.; Chen Y.. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - STAMPA. - 83(2006), pp. 1664-1668. | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11571/28156 | |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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