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EnglishTri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars / Shi J.; Belotti Michele; Peroz C.; Peyrade D.; Salari J.; Huang Wh.; Chen Y.. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - STAMPA. - 83(2006), pp. 1664-1668.
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http://hdl.handle.net/11571/28156| Titolo: | Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars |
| Autori interni: | BELOTTI, MICHELE |
| Data di pubblicazione: | 2006 |
| Rivista: | MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11571/28156 |
| Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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