Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars

Shi, J.; Belotti, Michele; Peroz, C.; Peyrade, D.; Salari, J.; Huang, W. h.; Chen, Y.

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Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars / Shi J.; Belotti Michele; Peroz C.; Peyrade D.; Salari J.; Huang Wh.; Chen Y.. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - STAMPA. - 83(2006), pp. 1664-1668.

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Titolo:	Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars
Autori:	Shi J. BELOTTI, MICHELE Peroz C. Peyrade D. Salari J. Huang W.h. Chen Y. mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	2006
Rivista:	MICROELECTRONIC ENGINEERING
Citazione:	Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars / Shi J.; Belotti Michele; Peroz C.; Peyrade D.; Salari J.; Huang Wh.; Chen Y.. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - STAMPA. - 83(2006), pp. 1664-1668.
Handle:	http://hdl.handle.net/11571/28156
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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http://hdl.handle.net/11571/28156

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