Effects of the deposition parameters on the growth of ultrathin and thin SiO2 films / Quartarone Eliana; Mustarelli Piercarlo; Grandi Stefania; Marabelli Franco; Bontempi L.. - In: THE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY. - ISSN 0022-5355. - STAMPA. - 25(2007), pp. 485-491.

Effects of the deposition parameters on the growth of ultrathin and thin SiO2 films

QUARTARONE, ELIANA;MUSTARELLI, PIERCARLO;GRANDI, STEFANIA;MARABELLI, FRANCO;
2007

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