CMOS Membrane Infrared Sensor and Improved TMAHW Etchant / R. Lenggenhager; D. Jäggi; P. Malcovati; H. Duran; H. Baltes; E. Doering. - STAMPA. - (1994), pp. 531-534. ((Intervento presentato al convegno IEEE International Electron Device Meeting (IEDM '94) tenutosi a San Francisco, USA nel December 1994 [10.1109/IEDM.1994.383352].
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Titolo: | CMOS Membrane Infrared Sensor and Improved TMAHW Etchant | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1994 | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11571/148341 | |
ISBN: | 9780780321111 | |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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