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EnglishMisure interferometriche di Caratterizzazione dei MEMS / Annovazzi Lodi Valerio; Benedetti Mauro; Merlo Sabina Giovanna; Norgia Michele. - STAMPA. - (2003), pp. 111-112. ((Intervento presentato al convegno Atti di GMEE, Gruppo di Coordinamento Misure Elettriche ed Elettroniche, XX Congresso Nazionale tenutosi a Villasimius nel 18-20 settembre 2003.
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| Titolo: | Misure interferometriche di Caratterizzazione dei MEMS |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2003 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11571/16926 |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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