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EnglishStructure and growth mechanism of ultra-thin and thin SiO2 films deposited by RF Magnetron Sputtering / Quartarone Eliana; Infante Garcia Maria Del Pilar; Mustarelli Piercarlo; Marabelli Franco. - STAMPA. - (2004). ((Intervento presentato al convegno Libro degli Abstracts del Congresso Nanophase Materials, CNR, Roma, 16-17 Settembre 2004.
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| Titolo: | Structure and growth mechanism of ultra-thin and thin SiO2 films deposited by RF Magnetron Sputtering |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2004 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11571/22343 |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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