IRIS

A failure analysis test structure for deep sub-micron CMOS copper interconnect technologies

CABRINI, ALESSANDRO;TORELLI, GUIDO
2005-01-01
2005
9780780388550
4.1 Contributo in Atti di convegno
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11571/25630
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 1
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
social impact