A failure analysis test structure for deep sub-micron CMOS copper interconnect technologies / A. Cabrini; D. Cantarelli; P. Cappelletti; R. Casiraghi; D. Iezzi; A. Maurelli; M. Pasotti; P. L. Rolandi; G. Torelli. - STAMPA. - (2005), pp. 245-249. ((Intervento presentato al convegno International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS '05) tenutosi a Leuven (Belgium) nel April 2005.
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Titolo: | A failure analysis test structure for deep sub-micron CMOS copper interconnect technologies |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2005 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11571/25630 |
ISBN: | 9780780388550 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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