Multilevel kernel methods for virtual metrology in semiconductor manufacturing / Schirru Andrea; Pampuri Simone; De Luca Cristina; De Nicolao Giuseppe. - ELETTRONICO. - (2011), pp. 11614-11621. ((Intervento presentato al convegno 18th IFAC World Congress tenutosi a Milano nel 28 Agosto-2 Settembre 2011.
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Titolo: | Multilevel kernel methods for virtual metrology in semiconductor manufacturing |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2011 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11571/319506 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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