Nonparametric Virtual Sensors for Semiconductor Manufacturing" / Schirru Andrea; Pampuri Simone; De Luca Cristina; De Nicolao Giuseppe. - ELETTRONICO. - (2011). ((Intervento presentato al convegno International Conference on Informatics in Control, Automation and Robotics (ICINCO) tenutosi a Noordwijkerhout, NL nel 28-31 Luglio, 2011.
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Titolo: | Nonparametric Virtual Sensors for Semiconductor Manufacturing". | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 2011 | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11571/320111 | |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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